Transversal elektrisch angeregter Gasentladungslaser zur Erzeugung von Lichtpulsen mit hoher Pulsfolgefrequenz und Verfahren zur Herstellung

Abstract

Gasentladungslaser mit einer Entladungsröhre, Haupt- und Hilfselektroden, Resonatorspiegeln und einem elektrischen Anregungskreis können Lichtpulse bis in den Subnanosekundenbereich generieren. Sie besitzen ein breites Anwendungsspektrum, beispielsweise als Anregungs- oder Ionisationslichtquelle bei verschiedenen Spektroskopieverfahren und im Zusammenhang mit dem UV-Mikroskop. Bekannte Gasentladungslaser weisen verschiedene Dichtungen im Bereich der Entladungsröhre auf und sind im endmontierten Zustand nicht nachjustierbar. Bei dem erfindungsgemäßen, wartungsfreien Gasentladungslaser (GL) mit einer Leistungsfähigkeit im Bereich von einigen 100 Millionen Lichtpulsen sind zur Feinjustage die Hauptelektroden (HE1, HE2) in verformbaren Trägerwannen (TW) und die Resonatorspiegel (RS) in verformbaren Trägerringen (TR) gelagert, die durch Hartlot (HL) stoffschlüssig mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER) verbunden sind. Alle ultrahochvakuumtauglichen Komponenten sind zur vollständigen Wasserentfernung über die zweite Wassergrenze (355°C) ausheizbar. Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung sieht ein Hartlöten oberhalb von 900°C der Trägerkomponenten mit partiellen Metallbelägen (MB) auf der Entladungsröhre (ER), ein Einschweißen der Resonatorspiegeln (RS), ein Ausheizen über die zweite Wassergrenze und eine anschließende Feinjustage vor.

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