Verfahren und Vorrichtung zur kontaminationsfreien Behandlung stoßempfindlicher Glasplatten in Reinsträumen

Abstract

Verfahren und Vorrichtung zum kontaminationsfreien, exakt definierten, horizontalen Ausrichten und folgenden Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen Platten, insbesondere Glasplatten (9) in eine definierte vertikale Lage. Die Glasplatten (9) werden unter Reinstraumbedingungen ohne die Verwendung eines Industrieroboters und ohne Kontamination durch Menschen ausgerichtet, umgesetzt und in der richtigen Lage der weiteren Bearbeitung zugeführt. Die Vorrichtung ist kostengünstig und betriebssicher.

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