Sensorvorrichtung

Abstract

Sensorvorrichtung zur Unterdrückung eines magnetischen Streufeldes, aufweisend, einen Halbleiterkörper mit einer in einer x-y Ebene ausgebildeten Oberfläche und einer Rückfläche, wobei die x-Richtung und die y-Richtung zueinander orthogonal ausgebildet sind, und eine in einer z-Richtung ausgebildeten Achse, wobei die z-Richtung orthogonal auf der x-y-Ebene ausgebildet ist, und ein Magnet vorgesehen ist, wobei der Magnet eine plane Haupterstreckungsfläche in Richtung der x-y Ebene aufweist, und das IC-Gehäuse von der Haupterstreckungsfläche des Magneten derart beabstandet ist, dass die Oberfläche des Halbleiterkörpers parallel zu der Haupterstreckungsfläche des Magneten ausgerichtet ist und der Magnet in Richtung der x-y-Ebene eine Magnetisierung mit vier Magnetpolen aufweist und zwei Magnetpole als äußere Kreissegmente die beiden innenliegenden Magnetpole als Kreissegmente umschließen, so dass jede Kreishälfte des scheibenförmigen Magneten zwei Magnetpole aufweist und wobei der Magnet gegenüber dem IC-Gehäuse um die z-Richtung drehbar ist, und eine gedachte Verlängerung der Achse den Magneten in dem Flächenschwerpunkt der Haupterstreckungsfläche des Magneten durchdringt, wobei eine erste Pixelzelle und eine zweite Pixelzelle in der Oberfläche des Halbleiterkörpers gemeinsam mit einer Schaltungsanordnung integriert sind, und jede Pixelzelle einen ersten Magnetfeldsensor und einen zweiten Magnetfeldsensor aufweist, und wobei der erste Magnetfeldsensor ein Magnetfeld in x-Richtung und der zweite Magnetfeldsensor ein Magnetfeld in y-Richtung detektiert, und die erste Pixelzelle von der zweiten Pixelzelle entlang einer Verbindungsgeraden beabstandet sind, und die erste Pixelzelle bei einer Projektion entlang der gedachten Verlängerung der Achse innerhalb der beiden innenliegenden Kreissegmente angeordnet ist.

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