Verfahren und Anlage zur kennfeldgesteuerten Abscheidung von Legierungen

Abstract

Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Legierungen in Mikrostrukturen, dadurch gekennzeichnet, dass während des Abscheidungsvorganges die Abscheidungsparameter zeitabhängig und programmgesteuert anhand eines mehrdimensionalen Kennfeldes so variiert werden, dass eine Legierung mit vorgegebener Zusammensetzung entsteht, die entweder homogen ist oder einen Konzentrationsgradienten über die Schichtdicke aufweist.

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      Title
      Galvanotechnik, 90(1999) Nr. 9, S. 2416-2424

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