Arrangement for transporting and aligning disk-shaped elements, especially wafers, has at least one detector arranged on carriage carrier to determine position of markings on disk-shaped element

Vorrichtung zum Transportieren und Ausrichten von scheibenförmigen Elementen

Abstract

The arrangement has a carriage (2) mounted on a rotatable carriage carrier (1) so as to be movable translationally, a holder (3) for a disk-shaped element coaxial with the rotation axis of the carriage carrier, whereby the carriage and /or the carriage carrier and holder can be moved in the vertical direction relative to each other and at least one detector (4,4') is arranged on the carriage carrier to determine the position of markings on a disk-shaped element.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transportieren und Ausrichten von scheibenförmigen Elementen, insbesondere Wafern, die im Herstellungsprozess technologisch bedingt aus Bearbeitungseinrichtungen entnommen und zu weiteren Bearbeitungseinrichtungen transportiert, in diese eingeführt und nach der Bearbeitung wieder entnommen werden müssen. Eine solche Vorrichtung soll einfach und robust aufgebaut, kostengünstig herstell- und flexibel einsetzbar sein. An der Vorrichtung ist ein Schlitten auf einem drehbaren Schlittenträger angeordnet. Der Schlittenträger ist translatorisch verfahrbar. Des Weiteren ist ein Halter für ein scheibenförmiges Element fluchtend mit der Rotationsachse des Schlittenträgers durch diesen hindurch geführt. Schlitten und/oder Schlittenträger sowie der Halter sind in vertikaler Richtung relativ zueinander bewegbar und am Schlittenträger ist mindestens ein Detektor zur Bestimmung der Position von an einem scheibenförmigen Element vorhandenen Markierungen angeordnet.

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Patent Citations (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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