Analyseverfahren für wasserlösliche Verunreinigungen in einer Reinraumatmosphäre bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Abstract

Analyseverfahren für wasserlösliche Verunreinigungen in einem Reinraum zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit folgenden Verfahrensschritten: a) die Temperatur der Vergleichsluft wird konstant gehalten; b) Kondensation von zu analysierender Vergleichsluft und Verflüssigung des in der Vergleichsluft enthaltenen Wassers; c) Beaufschlagung der verflüssigten Wassertropfen mit Druck und Zuführung der Wassertropfen zu einer Analyseneinrichtung; und d) Durchführung einer qualitativen und quantitativen Analyse unter Verwendung der Analyseneinrichtung.

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      GB-2304891-AMarch 26, 1997Sharp KkCollection and analysis of contaminants in an atmosphere

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