半導体基板の光学ビームを位相変移するための方法と装置

Abstract

【課題】半導体ベースのゲイン光学移送装置、方法および装置。 【解決手段】本発明の1つの様態において、本発明の一実施形態に置ける装置が、光路に沿って導かれる光線が貫通する半導体基板を備える。複数の浮動充電調節領域が光路に沿って配置される。前記複数の浮動充電調節領域のそれぞれにおいて、光線の位相が電荷濃度に応答する。複数のトンネル絶縁層が、前記複数の浮動充電調節領域のそれぞれと前記半導体基板との間に配置される。複数の制御ノードが、前記複数の浮動充電調節領域の近傍に配置される。前記複数の制御ノードの各々が、前記複数の浮動充電調節領域の対応する1つの電荷濃度を制御する。複数のブロック絶縁層が、前記複数の制御ノードのそれぞれと前記複数の浮動充電調節領域との間に配置される。

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      US-9729246-B2August 08, 2017Nec CorporationManufacturing method for a phase modulation system with ultraviolet discharge of accumulated charges